CF4泄漏檢測(cè)基于超靈敏懸臂梁增強(qiáng)光聲光譜檢測(cè)技術(shù)，結(jié)合量子級(jí)聯(lián)激光（QCL）光源，可對(duì)CF4的中紅外基本光譜吸收峰進(jìn)行研究。兩者的結(jié)合提供了足夠的靈敏度，可以毫不延遲地檢測(cè)到小濃度的CF4飛濺或溢出，同時(shí)確保了超高的穩(wěn)定性。重新校準(zhǔn)周期持續(xù)數(shù)月甚至數(shù)年，從而大大減低了總體持有成本。

　　高靈敏度的CF4泄漏檢測(cè)可以在生產(chǎn)環(huán)境中快速的探測(cè)污染物。另外，由于其零背景特性，直接吸收檢測(cè)可以確保長期的高穩(wěn)定性。準(zhǔn)確，可靠且維護(hù)成本低的潔凈室污染控制，快速的響應(yīng)時(shí)間以捕獲濃度的突然增加，獨(dú)立的操作系統(tǒng)，內(nèi)置的氣體交換泵，無消耗品或化學(xué)試劑，光路短，單點(diǎn)校準(zhǔn)也可達(dá)到一定動(dòng)態(tài)范圍，直接吸收測(cè)量，無漂移，高選擇性，并且不受乙醛和其他VOC的干擾。
 

　　1、響應(yīng)時(shí)間：取決于用戶定義的通道積分時(shí)間CIT和氣體沖洗設(shè)置。根據(jù)平均時(shí)間和采樣設(shè)置，它從10秒到幾分鐘不等。

　　2、監(jiān)測(cè)下限：小于0.1ppb。

　　3、動(dòng)態(tài)范圍：大于5個(gè)數(shù)量級(jí)（檢測(cè)下限的100,000倍）。

　　4、重復(fù)性：在操作條件下，校準(zhǔn)濃度的重復(fù)性小于1％。

　　5、精度：校準(zhǔn)濃度高于5％，這受校準(zhǔn)氣體精度的限制。

　　6、溫度穩(wěn)定性：CF4泄漏檢測(cè)不會(huì)由于工作溫度范圍內(nèi)的環(huán)境溫度變化而引起漂??移。

　　7、壓力穩(wěn)定性：樣品在壓力范圍內(nèi)的壓力變化不會(huì)引起漂移。